Contents－01
Contents
0．Introduction ・・・・・・・・・・01
0.1 Before using the vacuum pump ・・・・・・・・・・01
0.2 Safety symbols ・・・・・・・・・・03
1．For safe operation ・・・・・・・・・・ 1
1.1 Hazards peculiar to the pump and safety measures ・・・・・・・・・・ 1
1.1.1 Leakage of dangerous gas and material ・・・・・・・・・・ 1
1.1.2 Electric shock ・・・・・・・・・・ 1
1.1.3 Explosion ・・・・・・・・・・ 2
1.1.4 High temperature ・・・・・・・・・・ 3
1.2 Safety Data Sheet (SDS) ・・・・・・・・・・ 4
2．Outline of the Pump ・・・・・・・・・・ 5
2.1 Specification ・・・・・・・・・・ 5
2.2 Dimensional drawing ・・・・・・・・・・ 6
3．Measures before it starts ・・・・・・・・・・ 7
3.1 Securing of exhaust vent ・・・・・・・・・・ 7
3.2 Installation ・・・・・・・・・・ 9
3.3 Vacuum piping ・・・・・・・・・・10
3.4 Electric wiring ・・・・・・・・・・12
a) Power cable selection standards ・・・・・・・・・・13
b) Precautions ・・・・・・・・・・13
b-1) Unplug-preventive hardware(Option) ・・・・・・・・・・13
b-2) How to install unplug-preventive hardware ・・・・・・・・・・14
3.5 Fluctuation in the power voltage and frequency ・・・・・・・・・・15
Danger
Warning
Warning
Caution
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