модель Фильтр предварительной Модуль Модуль
очистки 5 мкм A H7
HLP SMART + + +
врeмя 6 месяц 6 месяц 2000 dm
3
*
нóмер EO-005-10 EO-MA-11 EJ-2000-0
модель Фильтр предварительной Модуль Модуль Модуль Капсула микрофильтрации УФ-лампа
очистки 5 мкм A H7, H7 H7 TOC, H7 TOC 0,2 μm 254 nm
HLP 5 + + + - - -
HLP 5s + + + - + -
HLP 5p + + + - - -
HLP 5sp + + + - + -
HLP 5UV + + - + + +
врeмя 6 месяц 6 месяц 2x2000 dm
3
* 2x2000 dm
3
* 12 месяц 8500 godz.
нóмер EO-005-10 EO-MA-11 EJ-2000-0 (x2) EJ-2000-1 (x2) EM-SP-20 EUV-254-0
модель Фильтр предварительной Модуль Модуль Модуль Капсула микрофильтрации УФ-лампа
очистки 5 мкм A H6 H6 TOC 0,2 μm 254 nm
HLP 10-30 + + + - - -
HLP 10-30 s + + + - + -
HLP 10-30 p + + + - - -
HLP 10-30 sp + + + - + -
HLP 10-30 UV + + - + + +
врeмя 6 месяц 6 месяц 5000 dm
3
* 5000 dm
3
* 12 месяц 8500 godz.
нóмер EO-005-10 EO-MA-11 EJ-5000-0 EJ-5000-1 EM-SP-20 EUV-254-0
КАТАЛОГ РАСХОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.
143