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请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力（请参阅产品说明书中的最大工作压力）
j）请使整个系统远离污染
系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻
璃碎片或者铁屑等。
k）请预热仪器后再使用
请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用绝对关闭的阀以确保在预热
过程中不会有错误的流量通过。
1.4 概述
质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密控制
和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保
和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设
备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、
微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
CS200J 型 MFC 是北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）生产的数字型产品，为
气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0～
10V 模拟信号，4～20mA 模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC）或单电源（+14～ +28
VDC），并加入了电磁截止阀。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯
协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件
Digital MFC。
CS200J MFC 默认配置为：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0～10V 电压控制。
更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。
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