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注意 :
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N
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）标定。
质量流量的单位规定为： SCCM （标准毫升/分）;
SLM （标准升/分）
标准状态规定为: 温度——273.15K （0℃）;
气压——101325 Pa （760mm Hg）
F.S.（Full Scale）： 满量程值
1.6 标定
CS200J MFC 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，则按照标准
状况标定。
1.6.1 标准状况
出口压力：大气压
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：
SCCM：标准毫升/分钟
SLM：标准升/分钟
标准状态：温度 0ºC（273.15K）
气压：101325Pa（760mm Hg）
因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所
以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
MFC 的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直（进气口向上或向下）、平躺及其
它位置的安装，为保证最高的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
1.6.2 制造环境
CS200J 型 MFC 是在温度为 22±2℃的 100 级的净化间内组装，在 1000 级净化环境下标定及
包装。
1.6.3 精度调节
每台 CS200J 型 MFC 在制造之后都要在相应的标定台上烤机 24 小时，然后进行精确标定。
精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标要经过两次检查，合格后方可出厂。
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