Ulvac TM201 - Page 3

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Attached Tables and Illustrations
Fig. 1 Dimensional drawing (TM201) ･････････････････････････････････････････ 3
Fig. 2 Dimensional drawing (TM401) ･････････････････････････････････････････ 4
Fig. 3 Schematic diagram ････････････････････････････････････････････････････ 5
Fig. 4 TM201/TM401 mounted in position ･････････････････････････････････････ 6
Fig. 5 Exploded view of filter element ･････････････････････････････････････････ 9
Table 1 Specifications ･･･････････････････････････････････････････････････････ 2
Table 2 Major Replacement Parts List ････････････････････････････････････････ 14