Varian TriScroll 600 Series User Manual

iii
TriScroll 600 Series Vacuum Pump
Table of Contents
Declaration of Conformity
Warranty ...................................................................viii
Warranty Replacement and Adjustment..............viii
Instructions for Use ..................................................... 1
General Information ................................................. 1
Storage ................................................................. 1
Unpacking and Inspection........................................ 1
Installation Requirements ......................................... 2
Safety ................................................................... 2
Operation................................................................. 4
Startup Procedure................................................. 4
Shutdown Procedure ............................................ 4
Maintenance ............................................................ 4
Anleitungen zur Benutzung ........................................ 5
Allgemeine Informationen ........................................ 5
Lagerung .............................................................. 5
Auspacken und Inspektion ....................................... 5
Installationsanforderungen ....................................... 6
Sicherheit ............................................................. 6
Betrieb ..................................................................... 8
Startverfahren ....................................................... 8
Abschaltverfahren................................................. 8
Wartung ................................................................... 8
Instructions d'utilisation .............................................. 9
Informations générales ............................................. 9
Stockage............................................................... 9
Déballage et Inspection.......................................... 10
Exigences d'installation .......................................... 10
Sécurité .............................................................. 10
Opération............................................................... 12
Procédure de démarrage..................................... 12
Procédure d'arrêt................................................ 12
Entretien................................................................. 12
Instrucciones de uso .................................................. 13
Información general ............................................... 13
Almacenaje ........................................................ 13
Desembalaje e inspección...................................... 13
Requisitos de instalación ........................................ 14
Seguridad ........................................................... 14
Funcionamiento ..................................................... 16
Procedimiento de arranque ................................ 16
Procedimiento de parada.................................... 16
Mantenimiento....................................................... 16
Istruzioni per l'uso......................................................17
Informazioni generali ..............................................17
Conservazione ....................................................17
Disimballaggio ed ispezione ...................................17
Requisiti per l'installazione .....................................18
Sicurezza ............................................................18
Funzionamento .......................................................20
Procedura per l'avviamento.................................20
Procedura per lo spegnimento.............................20
Manutenzione.........................................................20
使用仕 様 ....... ...... ..... ...... ..... ...... .. 21
概況概要 .................................. 21
保存 .................................... 21
開梱と点検 ................................ 21
取付要求 .................................. 22
安全 .................................... 22
操作 ...................................... 24
スタートアップ手順 ...................... 24
シャットダウン手順 ...................... 24
保守 ...................................... 24
使用说明
........................................................................... 25
一般信息 ....................................................................... 25
存放 ........................................................................... 25
开箱和检查 ................................................................... 25
安装要求 ....................................................................... 26
安全 ........................................................................... 26
操作 ............................................................................... 28
启动过程 ................................................................... 28
关机过程 ................................................................... 28
维护 ............................................................................... 28
사용설명 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
일반정보 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
보관 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
포장 열기 및 검사 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
설치요구 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
안전장치 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
조작 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
시동과정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
중단과정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
유지 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

Varian TriScroll 600 Series Specifications

General

Brand	Varian
Model	TriScroll 600 Series
Category	Water Pump
Language	English