Pfeiffer Vacuum UDV 040 - Page 2

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 2
Die Ganzmetall-Regelventile UDV 040 und
UDV 140 dienen dem kontrollierten Ein-
lass von Gasen in Vakuumsysteme. Sie
zeichnen sich durch präzisen und reprodu-
zierbaren Gaseinlass aus und eignen sich
besonders für den Einsatz
• in der Gas- und Oberflächenanalytik
• in der Massenspektrometrie
• in der Kernphysik, Beschleuniger
• in der Katodenzerstäubung
(sputtering)
• in der Vakuum- und Lasertechnik
• bei der Handhabung reinster Gase
• beim Belüften von UHV-Systemen
Das UDV 040 ist für den manuellen, das
UDV 140 (in Verbindung mit einer Steue-
rung) für den geregelten Gaseinlass kon-
zipiert.
The UDV 040 and UDV 140 all-metal
regulating valves are used for controlled
gas inlet into vacuum systems. They dis-
tinguish themselves through precise and
reproducible gas inlet and are especially
suited for use in
• gas and surface analysis
• mass spectrometry
• nuclear physics, accelerators
• cathode sputtering
• vacuum and laser technology
• handling of very pure gases
• venting of UHV systems
The UDV 040 is conceived for manual, the
UDV 140 (in conjunction with a control
unit) for regulated gas inlet.
Les vannes tout métal de régulation
UDV 040 et UDV 140 ont été conçues
pour l'admission contrôlée de gaz dans les
systèmes à ultra-vide. Elles se distinguent
par leur dosage précis et reproductible et
conviennent en particulier aux utilisations
suivantes:
• analyse de gaz et de surfaces
• spectrométrie de masse
• physique nucléaire, accélérateurs
• pulvérisation cathodique (sputtering)
• technique du vide et technique laser
• travail avec des gaz très purs
• entrée d'air dans les systèmes à ultra-
vide
On utilise l'UDV 040 pour l'admission ma-
nuelle de gaz, l'UDV 140 (avec un appareil
de commande) pour l'admission régulée
de gaz.