iii
High Throughput Diffusion Pumps
DRAFT 8/22/03
Contents
Preface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . v
Declaration of Conformity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
Diffusion Pump Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Explosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Pressurization Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Dangerous Substances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
High Temperatures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
High Voltages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Large Equipment and Heavy Weights . . . . . . . . . 4
Diffusion Pump Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Pump Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Operating Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Pump Air Speed and Throughput . . . . . . . . . . . . . . . 8
Physical Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Unpacking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Cleaning a New Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Cleaning Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Disassembly for Initial Cleaning . . . . . . . . . . . . 14
Reassembly After Initial Cleaning . . . . . . . . . . . 14
System and Utility Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Vacuum Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Cooling Water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Overheating: Detection by Thermal Switches . . . . 18
Initial Vacuum Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Adding or Changing Pump Fluid . . . . . . . . . . . . . . 32
Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Startup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Shutdown Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Periodic Inspections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Cleaning Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Disassembly and Reassembly Procedures . . . . . . . 38
Cold Cap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Jet Assemblies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Heater Replacement Procedure . . . . . . . . . . . . . 45
Troubleshooting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Leakage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Outgassing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Poor Pump or System Performance . . . . . . . . . . . . 47
Replacement Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
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