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D14641885 Issue L/Ausgabe L/Edition L
Contents
Section Page
1 Introduction ........................... 1
1.1 Scope and definitions .......................... 1
1.2 Description ....................................... 2
1.3 Gas dependency ................................. 5
2 Technical data ........................ 7
2.1 Mechanical data ................................. 7
2.2 Performance, operating and storage
conditions 7
2.3 Electrical data ................................... 9
2.4 Error monitoring ...............................10
2.5 Materials exposed to vacuum ................10
3 Installation ............................11
3.1 Unpack and inspect ............................11
3.2 Fit the AIM Gauge to the vacuum system ..11
3.3 Electrical connections .........................12
3.3.1 Connect to Edwards controllers or AGD display
13
3.3.2 Connect to your own supply and ......control
equipment 13
4 Operation .............................17
4.1 Safety ............................................17
4.2 Enable and disable the AIM Gauge ..........18
4.3 Pressure measurement ........................19
4.4 Set-point ........................................21
5 Maintenance ..........................23
5.1 Introduction ....................................23
Inhalt
Abschnitt Seite
1 Einleitung .............................. 1
1.1 Ziel und Definitionen ...........................1
1.2 Beschreibung .....................................2
1.3 Gasart-Abhängigkeit ............................5
2 Technische Daten ..................... 7
2.1 Mechanische Daten ..............................7
2.2 Leistungs-, Betriebs- und Lager-bedingungen
7
2.3 Elektrische Daten ................................9
2.4 Fehlerüberwachung ........................... 10
2.5 Werkstoffe im Vakuum ....................... 10
3 Einbau .................................11
3.1 Auspacken und Kontrollieren ................ 11
3.2 Montage der AIM-Meßröhre in das Vakuumsys-
tem 11
3.3 Elektrische Anschlüsse ........................ 12
3.3.1 Anschluß an Edwards-Controller oder AGD-An-
zeigegerät 13
3.3.2 Anschluß an eigene Netzversorgung und eigene
Steuerung 13
4 Betrieb ................................17
4.1 Sicherheit ....................................... 17
4.2 Zulässiger Betriebsbereich der AIM-Meßröhre
18
4.3 Druckmessung .................................. 19
4.4 Sollwert ......................................... 21
Table des matières
Section Page
1 Introduction ............................1
1.1 Portée et définitions ........................... 1
1.2 Description ...................................... 2
1.3 Dépendance par rapport au gaz .............. 5
2 Caracteristiques techniques .........7
2.1 Caractéristiques mécaniques ................. 7
2.2 Performances et conditions de fonctionne-
ment et de stockage 7
2.3 Caractéristiques électriques ................. 9
2.4 Détection des erreurs ......................... 10
2.5 Matériaux exposé au vide .................... 10
3 Installation ........................... 11
3.1 Déballer et Vérification ...................... 11
3.2 Montage de la jauge AIM sur le système à vide
11
3.3 Raccordements électriques .................. 12
3.3.1 Raccordement à des contrôleurs Edwards ou à
un coffret d’affichage AGD 13
3.3.2 Raccordement à votre propre matériel et équi-
pement de contrôle 13
4 Fonctionnement ..................... 17
4.1 Sécurité ......................................... 17
4.2 Activation et désactivation de la jauge AIM 18
4.3 Mesures de pression ........................... 19
4.4 Point de consigne .............................. 21
5 Entretien ............................. 23
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