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Measuring Instruments
AIM-S-NW25
Edwards AIM-S-NW25 User Manual
5
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44 pages
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Specs
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D145-45-885
Issue H
Instruction Manual / Betriebsanleitung / Mode d'emploi
Active Inverted Magnetron Gauge
Aktiv-Penning-Meßröhren
Jauge active Magnétron inverse
Description
Beschreibung
Description
Item Number
Bestellnummer
Numéro de Référence
AIM-S-NW25
D145-45-000
AIM-SL-NW25
D145-48-000
2
Table of Contents
English
2
Declaration of Conformity
2
Table of Contents
7
Section 1 Introduction
11
Scope and Definitions
11
Einleitung
11
Ziel und Definitionen
11
Introduction
11
Description
12
Beschreibung
12
Gas Dependency
15
Gasart-Abhängigkeit
15
Mechanical Data
17
Performance, Operating and Storage Conditions
17
Mechanische Daten
17
Leistungs-, Betriebs- und 2.2 Lagerbedingungen
17
Electrical Data
18
Elektrische Daten
18
Materials Exposed to Vacuum
19
Werkstoffe IM Vakuum
19
Connector Socket
25
Maintenance
31
Wartung
31
Entretien
31
Replace the Body Tube
32
Remove the AIM Gauge from the Vacuum System
32
Fit the New Body Tube
32
Refit the AIM Gauge to the Vacuum System
34
Replace the Electrode Assembly
34
Replace the Electronics and Magnet Housing
35
Clean the Internal Components
36
Fault Finding
37
Storage and Disposal
39
Spares and Accessories
41
Spares
42
Accessories
43
French
11
Portée Et Définition
11
Dépendance Par Rapport Au Gaz
15
Caractéristiques Techniques
17
Caractéristiques Mécaniques
17
Performances Et Conditions de Fonctionnement Et de Stockage
17
Caractéristiques Électriques
18
Matériaux Exposé Au Vide
19
Dimensions (MM)
20
Déballage Et Vérification
21
Montage de la Jauge AIM Sur Le Système À Vide
21
Raccordements Électriques
22
Raccordement À des Contrôleurs Edwards Ou À un Coffret D'affichage AGD
23
Raccordement À Votre Propre Matériel Et Équipement de Contrôle
23
Operation
27
Betrieb
27
Fonctionnement
27
Sécurité
27
Activation Et Désactivation de la Jauge AIM
28
Mesures de Pression
28
Signal de Sortie D'erreur
29
Introduction
31
Einleitung
31
Austausch des Meßröhrenkörpers
32
Ausbau der AIM-Meßröhre aus dem 5.2.1 Vakuumsystem
32
Einbau des Neuen Meßröhrenkörpers
32
Remplacement du Tube
32
Dépose de la Jauge AIM du Système À Vide
32
Mise en Place D'un Tube Neuf
32
Einbau der AIM-Meßröhre ins 5.2.3 Vakuumsystem
34
Austausch der Elektrodengruppe
34
Remontage de la Jauge AIM Sur Le Système À Vide
34
Remplacement de L'ensemble Électrode
34
Ausbau der Meßelektronik und des Magnetgehäuses
35
Remplacement de L'électronique Et du Logement de L'aimant
35
Reinigung der Internen Komponenten
36
Nettoyage des Composants Internes
36
Fehlersuche
37
Recherche des Causes de Panne
37
Storage
39
Disposal
39
Lagerung und Entsorgung
39
Lagerung
39
Entsorgung
39
Stockage Et Mise Au Rebut
39
Stockage
39
Mise Au Rebut
39
Introduction
41
Ersatzteile und Zubehör
41
Einleitung
41
Ersatzteile
42
Pièces Détachées
42
Zubehör
43
Accessoires
43
German
17
Technical Data
17
Technische Daten
17
Installation
21
Unpack and Inspect
21
Fit the AIM Gauge to the Vacuum System
21
Auspacken und Kontrollieren
21
Montage der AIM-Meßröhre in das 3.2 Vakuumsystem
21
Electrical Connections
22
Elektrische Anschlüsse
22
Connect to Edwards Controllers or AGD Display
23
Connect to Your Own Supply and Control Equipment
23
Anschluß an Edwards-Controller 3.3.1 oder AGD-Anzeigegerät
23
Anschluß an Eigene Netzversorgung und Eigene Steuerung
23
Connections
24
Safety
27
Sicherheit
27
Enable and Disable the AIM Gauge
28
Pressure Measurement
28
Zulässiger Betriebsbereich 4.1 der AIM-Meßröhre
28
Druckmessung
28
Error Output Signal
29
Fehlerausgangssignal
29
Pressure and Voltage Characteristics for Nitrogen and Dry Air
30
Exploded View of the AIM Gauge
33
5
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Edwards AIM-S-NW25 Specifications
General
Brand
Edwards
Model
AIM-S-NW25
Category
Measuring Instruments
Language
English
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