Edwards AIM-S-NW25

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D145-45-885 Issue H
Contents / Inhalt / Table des matières
Contents
Section Page
1 Introduction ..........................1
1.1 Scope and definitions ........................ 1
1.2 Description ..................................... 2
1.3 Gas dependency ............................... 5
2 Technical data .......................7
2.1 Mechanical data ............................... 7
2.2 Performance, operating and storage
conditions ...................................... 7
2.3 Electrical data ................................. 8
2.4 Materials exposed to vacuum ............... 9
3 Installation .......................... 11
3.1 Unpack and inspect ..........................11
3.2 Fit the AIM Gauge to the
vacuum system ...............................11
3.3 Electrical connections .......................12
3.3.1 Connect to Edwards controllers or
AGD display ...................................13
3.3.2 Connect to your own supply and
control equipment ...........................13
4 Operation ........................... 17
4.1 Safety ..........................................17
4.2 Enable and disable the AIM Gauge ........18
4.3 Pressure measurement ......................18
4.4 Error output signal ...........................19
gea/0202/04/12
Inhalt
Abschnitt Seite
1 Einleitung .............................1
1.1 Ziel und Definitionen .........................1
1.2 Beschreibung ...................................2
1.3 Gasart-Abhängigkeit ..........................5
2 Technische Daten ....................7
2.1 Mechanische Daten ............................7
2.2 Leistungs-, Betriebs- und
Lagerbedingungen .............................7
2.3 Elektrische Daten ..............................8
2.4 Werkstoffe im Vakuum .......................9
3 Installation .......................... 11
3.1 Auspacken und Kontrollieren .............. 11
3.2 Montage der AIM-Meßröhre in das
Vakuumsystem ............................... 11
3.3 Elektrische Anschlüsse ...................... 12
3.3.1 Anschluß an Edwards-Controller
oder AGD-Anzeigegerät ..................... 13
3.3.2 Anschluß an eigene Netzversorgung
und eigene Steuerung ....................... 13
4 Betrieb ............................... 17
4.1 Sicherheit ..................................... 17
4.2 Zulässiger Betriebsbereich
der AIM-Meßröhre ........................... 18
4.3 Druckmessung ................................ 18
4.4 Fehlerausgangssignal ........................ 19
Table des matières
Section Page
1 Introduction ..........................1
1.1 Portée et définition ...........................1
1.2 Description .....................................2
1.3 Dépendance par rapport au gaz .............5
2 Caractéristiques techniques .......7
2.1 Caractéristiques mécaniques ................7
2.2 Performances et conditions de
fonctionnement et de stockage .............7
2.3 Caractéristiques électriques .................8
2.4 Matériaux exposé au vide ....................9
3 Installation ..........................11
3.1 Déballage et vérification ................... 11
3.2 Montage de la jauge AIM
sur le système à vide ........................ 11
3.3 Raccordements électriques ................ 12
3.3.1 Raccordement à des contrôleurs
Edwards ou à un coffret
d’affichage AGD ............................. 13
3.3.2 Raccordement à votre propre
matériel et équipement de contrôle ..... 13
4 Fonctionnement ....................17
4.1 Sécurité ....................................... 17
4.2 Activation et désactivation
de la jauge AIM .............................. 18
4.3 Mesures de pression ......................... 18
4.4 Signal de sortie d’erreur ................... 19