Keysight Technologies B1500A

Contents
Connection Guide for Wafer Prober
SMU/GNDU connection with prober . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
GNDU connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Non-Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
SMU connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Non-Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Kelvin to non-Kelvin connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
MCSMU connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Connection for low current measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
To make connection to reduce leakage current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Guarding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Connection for low resistance measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
To make connection to measure low resistance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
SCUU and ASU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
SCUU positioner-based probing connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
ASU connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
WGFMU and RSU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Connecting RSU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Connecting RF Probes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Connecting DC Probes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Interlock circuit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Installing the interlock circuit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
To connect interlock circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32