Document Number: D1000092206 B 3
Contents
Chapter 1 System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Principles of the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Applications for the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Features of the Instrument. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
How the Instrument Works. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Parts of the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
I/O Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Gas and Vacuum Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Control Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Source Exhaust System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Vacuum Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Shutting Down and Turning on the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Source/Gas Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Turbo V™ Ion Source Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Compound Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Related Documentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Technical Support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Chapter 2 API 5000
™
Instrument Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . 15
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