保守パーツ / Parts List
OM1105050JE03
18
4.2.1 ワイヤクランプユニット / Wire Clamp Unit
ADU01568
＊１：スパッタチューブを注文するときは、品番、数量と共に長さも指定してください。
＊１：
Along with part number and quantity, length required when ordering spatter tube.
No
名 称
Description
品番
Part No.
数量
Q’ty
備考
Note
17
シリンダー
Cylinder TMC00001 1
18
取り付け金具
Fixture AFM41724 1
18-1
ナットカバー
Nut cover TZK00008 (1)
19
ストッパー
Stopper TFM00087 1
20
ワイヤガイド
Wire guide AGT41135 1
21
六角穴付き止めねじ
Hexagon socket setscrew XXE6D6FP 1 M6x6
22
六角穴付き止めねじ
Hexagon socket setscrew XXE4D8FP 1 M4x8
23
六角穴付き止めねじ
Hexagon socket setscrew XXE4D8FP 1 M4x8
24
エルボユニオン
Elbow union KQL06M5 1
25
スペーサー
Spacer TFS00004 1
26
O-
リング
O-ring P16 1
27
スパッタチューブ
（＊１）
Spatter tube
（＊１）
TRB0604B 1
パワーケーブル長 +0.55 m
Power cable lengh + 0.55 m
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