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续表 3. 故障判断和处理一览表
序
号
故 障 现 象 故 障 可 能 原 因 处 理 方 法
5.1 气源压强太低或不稳 提高气源气压, 稳定气源压强
5.2 气源内阻过大
降低气源内阻 (大流量时要注意开
大阀门, 加粗管道, 以至并联气瓶,
提高气源供气能力)
5
气流控制不稳定,有
较大的波动
5.3 电路或调节阀故障 *维修调整
6.1 供电系统的地线和零线
连接或机壳接地有问题
检查接地系统, 注意一点接地
6.2 信号参考端连接问题 检查信号连接线
6
使用高频源时流量
控制器受干扰
6.3 空间干扰 适当屏蔽,远离干扰源, 选用屏蔽线
7.1 显示器量程或单位与控
制器不匹配
*重调显示器
7.2 控制器通道被污染,引起
流量精度发生偏差
*对控制器进行清洗标定
7
实际流量与显示流
量不一致
7.3 流量计零点有较大漂移,
不稳定
*更换传感器, 维修电路
8.1 调节阀漏气 *维修调节阀
8
设定为零时仍有流
量流过
8.2 流量计零点偏负 将流量计零点调为零或偏正
9.1 传感器堵塞
*维修更换传感器
气源有粉尘, 应在通道前加装过
滤器。若使用硅烷等特殊气体,应注
意管路的密封性和气源干燥
9
通道有很大气流流
过, 而输出无流量
显示
9.2 电路故障 *维修电路
10
不通气时, 发现零
点不稳, 或零点长
时间慢漂移
10.1 传感器故障 *更换传感器
注意 :
标*号的项目必须由专业维修人员进行修理。