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质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
1. 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 D07 系列质量流量控制器/质量流量计产品。本
手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有
标
志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
2. 用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质
量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量
和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环
保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺
设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤
熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、
稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任
意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用,
控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图 1 所示)。
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