SevenStar D07-7B - 结构和工作原理

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表 2. D07-7BM 型 MFM 性能指标
编号 项 目 D07-7BM 型
1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1.5 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 重复精度 ±0.2 %F.S
5 响应时间 10 sec
6 气压降 <0.01 MPa
7 耐压 3 MPa
8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
9 输出信号
0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
10 电源
+15 V 50 mA
-15 V 50 mA
11 外形尺寸 见图 5
12 重量 0.92 kg
各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。其中 7BM 型是 7B 型的流量测量部分，流
量计量部分的技术指标相同。
4. 结构和工作原理
4.1 结构
质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的
基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。7B 型质量流量控制
器, 打开外罩后的结构如图 2 所示。