SevenStar D07-7B - 故障判断和处理

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8. 故障判断和处理
表 3. 故障判断和处理一览表
序
号
故 障 现 象 故 障 可 能 原 因 处 理 方 法
1.1 气源未开, 气路不通 接通气源, 开通气路
1.2 阀控开关关闭 将阀开关置于"阀控"位或"清洗"位
1.3 无设定信号
检查设定电位器和"内外"设定开关
的状态等
1.4 过滤器堵塞 *更换过滤器
1.5 调节阀故障 检查阀线包是否断, *清洗调节阀
1
开机后, 无气流
流过
1.6 电路故障 *维修电路
2.1 零点偏差 调整调零电位器
2.2 电源故障 *检查±15V 电源等
2.3 传感器故障 *更换传感器
2
开机不通气的情
况下, 流量检
测不正常
2.4 运算放大器或其它电路故
障
*更换运放, 维修电路
3.1 入口气压过高,进出气口之
间的压差超过额定值
适当降低输入气压,减小气压差
3.2 阀门污染 *清洗阀门,更换密封件
3
在阀门关闭的情
况下,仍有较大的
流量流过
3.3 调节阀故障 *重新调整调节阀
4.1 气压降低于额定值 提高入口气压
4.2 通道堵塞 *清洗 MFC 通道
4.3 设定电压低于 5.00V *检查设定电压
4
流量显示不能达
到满量程值
4.4 其它电路故障 *维修电路