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续表 5. 气体质量流量转换系数表
气 体 代号
(SEMIE52-0302) 比热(卡/克℃) 密度(克/升 0℃) 转换系数
GeH
4
锗烷
043
0.1405 3.4180 0.569
H
2
氢气
007
3.4224 0.0899 1.010
HBr
溴化氢
010
0.0861 3.6100 1.000
HCl
氯化氢
011
0.1911 1.6270 1.000
HF
氟化氢
012
0.3482 0.8930 1.000
HI
碘化氢
017
0.0545 5.7070 0.999
H
2
S
硫化氢
022
0.2278 1.5200 0.844
He
氦气
001
1.2418 0.1786 1.415
Kr
氪气
005
0.0593 3.7390 1.415
N
2
氮气
013
0.2486 1.2500 1.000
Ne
氖气
002
0.2464 0.9000 1.415
NH
3
氨气
029
0.5005 0.7600 0.719
NO
一氧化氮
016
0.2378 1.3390 0.976
NO
2
二氧化氮
026
0.1923 2.0520 0.741
N
2
O
一氧化二氮
027
0.2098 1.9640 0.709
O
2
氧气
015
0.2196 1.4270 0.992
PCl
3
三氯化磷
193
0.1247 6.1270 0.358
PH
3
磷烷
031
0.2610 1.5170 0.691
PF
5
五氟化磷
143
0.1611 5.6200 0.302
POCl
3
三氯氧磷
102
0.1324 6.8450 0.302
SiCl
4
四氯化硅
108
0.1270 7.5847 0.284
SiF
4
四氟化硅
088
0.1692 4.6430 0.348
SiH
4
硅烷
039
0.3189 1.4330 0.599
SiH
2
Cl
2
二氯氢硅
067
0.1472 4.5060 0.412
SiHCl
3
三氯氢硅
147
0.1332 6.0430 0.340
SF
6
六氟化硫
110
0.1588 6.5160 0.264
SO
2
二氧化硫
032
0.1489 2.8580 0.687
TiCl
4
四氯化钛
114
0.1572 8.4650 0.206
WF
6
六氟化钨
121
0.0956 13.2900 0.215
Xe
氙气
006
0.0379 5.8580 1.415