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PCU LED N
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10. Monitoring
Erklärung der Parameterdarstellung im finalen Screen in der Anwenderebene
Darstellung
Bedeutung
216
Laufnummer (Anzahl der Belichtungsjobs)
01.01.2000 Datum
01:17:35 Uhrzeit
040 LED-Intensität der oberen Panels in %
040 LED-Intensität der unteren Panels in %
0800 Belichtungsdauer [Stelle 1 und 2: Minuten; Stelle 3 und 4: Sekunden]
1 Vakuum AN [1 – AN; 0 – AUS]
0 Stickstoff AUS [1 – AN; 0 – AUS]
Aufschlüsseln der Fehlercodes im finalen Screen in der Anwenderebene
Code Zustand
Hintergrundanzeige
00 Fehlerfreier Ablauf Grün
01
Pumpe läuft während des Belichtungsvorganges
Rot
02 Pumpe kann kein Vakuum ziehen Rot
03 Deckel geöffnet Rot
04 Kein Stickstofffluss Rot
05 Programmablaufzeit=0 Rot
06 LED Fehler im Programm LED Test Rot
Die verschiedenen Prozessparameter werden durch die in der
PCU LED N
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verbaute
Sensorik erfasst. Im finalen Screen in der Anwenderebene werden diese angezeigt.
Code Störung Ursache
Fehlerbehebung
02 Pumpe kann kein
Vakuum ziehen.
Abschaltung nach
150 Sekunden
Deckeldichtung der
Belichtungskammer
undicht
Erneuern der
Deckeldichtung
Schläuche des Vakuum
-
systems undicht
Erneuern der
Schläuche
Vakuumpumpe
defekt
Austauschen der
Vakuumpumpe
03 Deckel geöffnet Deckel nicht
geschlossen
Deckel schließen
Deckelsteuerung
(Endschalter) defekt
Deckelsteuerung
(Endschalter) aus-
tauschen
04 Kein Stickstofffluss
Stickstoffventil an
der Gasflasche nicht
geöffnet. Achtung:
Das Gerät darf mit
einem maximalen
Druck von 5 bar (70
psi) bedient werden.
Stickstoffventil
öffnen
05 Programmlaufzeit = 0 Es wurde keine
Programmlaufzeit
gesetzt
Programmlaufzeit
> 0 speichern
06
LED Fehler im Programm
LED Test
LEDs defekt LEDs müssen von
einem Fachmann
getauscht werden
Weitere
Gerät zeigt keine
Funktion
Netzverbindung nicht
korrekt
Netzverbindung
kontrollieren
Hauptschalter aus Hauptschalter
einschalten
Hauptschalter defekt Hauptschalter
austauschen
11. Störungshilfeplan
Code Störung Ursache
Fehlerbehebung
00 Fehlerfreier Ablauf Entfällt Entfällt
01 Pumpe läuft während
des Belichtungsvor-
ganges
Deckeldichtung der
Belichtungskammer
undicht
Erneuern der
Deckeldichtung
Schläuche des
Vakuumsystems
undicht
Erneuern der
Schläuche
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