Ulvac PKS-030 - Table of Contents

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Table of Contents
1. Inspection ･･･････････････････････････････････････････････････････････ 4
2. Mounting ････････････････････････････････････････････････････････････ 5
3. Oil filling ････････････････････････････････････････････････････････････ 5
4. Electrical connections ･････････････････････････････････････････････････ 6
5. Fitting and detaching of V-belts ････････････････････････････････････････ 7
6. Vacuum system connection ････････････････････････････････････････････ 8
7. Gas ballast valve ･････････････････････････････････････････････････････ 10
8. Operation ････････････････････････････････････････････････････････････ 10
9. Ultimate pressure ････････････････････････････････････････････････････ 12
10. Periodical checking ･･･････････････････････････････････････････････････ 13
11. Oil replacement ･･･････････････････････････････････････････････････････ 13
12. Vacuum pump oil for low temperatures ･････････････････････････････････ 14
13. Major expendable parts ･･･････････････････････････････････････････････ 15
14. Pump oil characteristics table ･･････････････････････････････････････････ 16
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