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PCU LED
10. Monitoring
Erklärung der Parameterdarstellung im finalen Screen in der Anwenderebene
Darstellung
Bedeutung
216
Laufnummer (Anzahl der Belichtungsjobs)
01.01.2000 Datum
01:17:35 Uhrzeit
040 LED-Intensität der oberen Panels in %
040 LED-Intensität der unteren Panels in %
0800 Belichtungsdauer [Stelle 1 und 2: Minuten; Stelle 3 und 4: Sekunden]
1 Vakuum AN [1 – AN; 0 – AUS]
0 Stickstoff AUS [1 – AN; 0 – AUS]
Aufschlüsseln der Fehlercodes im finalen Screen in der Anwenderebene
Code Zustand
Hintergrundanzeige
00 Fehlerfreier Ablauf Grün
01
Pumpe läuft während des Belichtungsvorganges
Grün
02 Pumpe kann kein Vakuum ziehen Rot
03 LEDs funktionieren nicht Rot
Die verschiedenen Prozessparameter werden durch die in der PCU LED verbaute Sensorik
erfasst. Im finalen Screen in der Anwenderebene werden diese angezeigt.
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