Dreve PCU LED - Störungshilfeplan

deutsch
english
19
11. Störungshilfeplan
Code Störung Ursache Fehlerbehebung
00 Fehlerfreier Ablauf Entfällt Entfällt
01 Pumpe läuft während
des Belichtungsvor-
ganges
Deckeldichtung für
Belichtungskammer
undicht
Erneuern der
Deckeldichtung
Schläuche des
Vakuumsystems
undicht
Erneuern der
Schläuche
02 Pumpe kann kein
Vakuum ziehen
Deckeldichtung für
Belichtungskammer
undicht
Erneuern der
Deckeldichtung
Schläuche des
Vakuumsystems
undicht
Erneuern der
Schläuche
Vakuumpumpe
defekt
Austauschen der
Vakuumpumpe
03 LEDs funktionieren
nicht
Deckel nicht
geschlossen
Deckel schließen
Deckelsteuerung
defekt
Deckelsteuerung
austauschen
LEDs defekt Austauschen
der LEDs
Weitere
04 Gerät zeigt keine
Funktion
Netzverbindung nicht
korrekt
Netzverbindung
kontrollieren
Hauptschalter aus Hauptschalter
einschalten
Hauptschalter defekt Hauptschalter
austauschen
05 Hauptschalter an,
Display zeigt keine
Funktion
Display defekt Display muss vom
Fachmann ausge-
tauscht werden