Thyracont VSM77D - 7 Technische Daten

26
VSM-de-171005
VSM77 ∅40
VSM78 ∅52
VSM79 ∅70
1
3
9
139
40
69
48
70
153
7 Technische Daten
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode (invertiertes Magnetron)
gasartabhängig
Messbereich
1000 - 5x10
-
9
mbar (750 - 5x10
-
9
Torr)
Max. Überlast 10 bar abs.
Genauigkeit 1000 - 10 mbar: ca. 30 % v. Messwert
10 - 2x10
-3
mbar: 10 % v. Messwert
2x10
-3
- 1x10
-8
mbar: 25 % v. Messwert
Wiederholbarkeit
10 - 1 x 10
-
2
mbar: ca. 2% v. Messwert
1 x 10
-2
-1 x 10
-8
mbar: ca. 7% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt
Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Molybdän,
Al
2
O
3
Keramik
Anodenmaterial Molybdän