アナログ量監視
この画面には、装置の主要コンポーネントに関連したアナログ信号がすべて表示されます。
グローバルシステム表示
このオプションでは、装置の様々なコンポーネントをチェックできます。ボタン/図式（緑になる）を
押してコンポーネントをチェックし、表示される値を確認します。
注
:
ガス流量を手動で変更する場合、自動パージ（
5
分毎）により、ガス流量は
0.25mL/s
に戻され、確認した値に
影響を及ぼしますので留意してください。
システムの初期化
このオプションを選択すると、標準のシステムスタートアップを開始します。装置の電源を入れたり
切ったりする必要はありません。
アプリケーションの終了
このオプションを選択して、装置を正しくシャットダウンします。完了すると、装置の電源はオフに
なります。
サービス検証
このオプションでは、数々のオプションのサービス予定日がリストされます。各サービスの予定日を
過ぎると、［Service done］ボタンが使用できるようになります。サービスを実行したらこのボタン
を押し、サービス予定日をリセットします。
測定ヘッド初期化
このオプションでは、［Initialize motor］ボタンを押して、測定ヘッドをホームポジションに戻すこ
とができます。
トラブルシューティング
エラー メッセージ
メッセージ 考えられる原因 対処方法
E1：緊急停止。
緊急停止ボタンが押された。
緊急停止ボタンを時計回りに回して解除し
てください。
必要な場合、モーターを初期化してくださ
い。
E2：モーターエラー。
測定ヘッドが障害に届いて
いない。
モーターを初期化してください。
モーターが動いている時に、
緊急停止ボタンが押された。
E4：前面ドアが開いている。測定プ
ロセスが停止した。
測定プロセスが終了する前
に、前面ドアが開けられた。
前面ドアを閉じてください。
前面ドアがきちんと閉まっ
ていない。
前面ドアの機構を制御してください。
192
日本語
To Next Page
Loading...
