GA05141_0702 - 09/2004
2
Contents
Page
General safety information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1 System overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Compatibility with pumped media . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.3 Design of the MAG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.4 Function and design of the MAG.DRIVE
digital
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.5 Standard specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.6 Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.7 Ordering data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Pump configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
2.1 Unpacking - storing - transportation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
2.2 Operating environment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
2.3 Connecting the MAG to the vacuum chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
2.4 Connecting the backing pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
2.5 Connecting the cooling water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
2.6 Connecting the purge gas. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
2.7 Installing the MAG.DRIVE
digital
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
2.7.1 Power supply connection X19. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.7.2 Pump connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.7.3 Control plug X14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
Emergency off. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.7.4 Interface connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
3 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
3.1 General operation rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
3.2 Temperature Management System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
3.3 Power control system (PCS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
3.4 Operation at high gas throughput or high forevacuum pressure . . . . . . . . . . . 70
3.5 Bakeout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3.6 Operation with the START and STOP keys . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
3.7 Remote control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
Section
To Next Page
Loading...
Need help?
General
