Pfeiffer TC 110 - Default Chapter; Table of Contents

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1 About this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 Safety instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Pictographs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Instructions in the text . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Abbreviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Safety precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 Proper use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Improper use. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 Functional safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3 Product description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1 Product identification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1.1 Product characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.2 Range of application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.3 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.4 General connection description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Connection diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5 Connection "X3" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.1 Pin assignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.2 Operation via "X3" connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.2.1 Voltage supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.2.2 Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.2.3 Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.2.4 RS-485 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
6 The Pfeiffer Vacuum parameter set . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.1.1 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2 Parameter overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2.1 Annotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2.2 Operation with DCU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2.3 Control commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.2.4 Status requests . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6.2.5 Set value settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
6.3 Configuring the connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
6.3.1 Digital outputs on "X3" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
6.3.2 Accessory connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.3.3 Analog output on "X3" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.3.4 Control via interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.3.5 Digital inputs on "X3". . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4 Operation with the Pfeiffer Vacuum parameter set . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4.1 Factory settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4.2 Checking the adjustments. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4.3 Gas type dependent operations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4.4 Set value power consumption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.4.5 Run-up time. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.4.6 Adjusting the rotation speed switchpoint. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.4.7 Rotation speed setting mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.4.8 Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.4.9 Rotation speed set value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.4.10 Operation mode backing pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24