Page/Seite/Page ii © Edwards Limited 2020. All rights reserved.
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
D14641885 Issue L/Ausgabe L/Edition L
Contents
5.2 Replace the body tube ........................24
5.2.1 Remove the AIM Gauge from the vacuum
system 24
5.2.2 Fit the new body tube ........................24
5.2.3 Refit the AIM Gauge to the vacuum system 25
5.3 Replace the electrode assembly .............25
5.4 Replace the electronics and magnet housing
27
5.5 Clean the internal components ..............28
5.6 Fault finding ....................................29
6 Storage and disposal ................31
6.1 Storage ..........................................31
6.2 Disposal ..........................................31
6.3 Return the equipment or components for
service 32
7 Spares and accessories ..............34
7.1 Introduction ....................................34
7.2 Spares ............................................34
7.3 Accessories ......................................34
5 Wartung ...............................23
5.1 Einleitung ....................................... 23
5.2 Austausch des Meßröhrenkörpers ........... 24
5.2.1 Ausbau der AIM-Meßröhre aus dem Vakuumsys-
tem 24
5.2.2 Einbau des neuen Meßröhren-körpers ...... 24
5.2.3 Einbau der AIM-Meßröhre ins Vakuumsystem
25
5.3 Austausch der Elektrodengruppe ........... 25
5.4 Ausbau der Meßelektronik und des Magnetge-
häuses 27
5.5 Reinigung der internen Komponenten ..... 28
5.6 Fehlersuche .................................... 29
6 Lagerung und Entsorgung ...........31
6.1 Lagerung ........................................ 31
6.2 Entsorgung ...................................... 31
7 Ersatzteile und Zubehör ............34
7.1 Einleitung ....................................... 34
7.2 Ersatzteile ...................................... 34
7.3 Zubehör ......................................... 34
Für die Rücksendung von Geräten sind die HS-Formulare
am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden.
5.1 Introduction .................................... 23
5.2 Remplacement du tube ....................... 24
5.2.1 Dépose de la jauge AIM du système à vide 24
5.2.2 Mise en place d’un tube neuf ................24
5.2.3 Remontage de la jauge AIM sur le système à
vide 25
5.3 Remplacement de l’ensemble électrode .. 25
5.4 Remplacement de l’électronique et du loge-
ment de l’aimant 27
5.5 Nettoyage des composants internes ........ 28
5.6 Recherche des causes de panne ............. 29
6 Stockage et mise au rebut ......... 31
6.1 Stockage ........................................ 31
6.2 Mise au rebut ................................... 31
7 Pièces détachées et accessoires .. 34
7.1 Introduction .................................... 34
7.2 Pièces détachées .............................. 34
7.3 Accessoires ..................................... 34
Pour le retour d’appareil, veuillez remplir les formulaires
HS figurant à la fin de ce manuel.
To Next Page
Loading...
Need help?
General
