Contents - 2 Keysight B1500A Configuration and Connection Guide, Edition 6
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SMU connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
Non-Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
Kelvin connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
Kelvin to non-Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
MCSMU connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Connection for low current measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
To make connection to reduce leakage current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Guarding. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Connection for low resistance measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
To make connection to measure low resistance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Kelvin connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
SCUU and ASU. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
SCUU positioner-based probing connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-16
ASU connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
WGFMU and RSU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
Connecting RSU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
Connecting RF Probes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-21
Connecting DC Probes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
Interlock circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
Installing the interlock circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
To connect interlock circuit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-28
4. Connection and Ordering Examples
Two terminal device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
General IV characterization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
General IV/CV characterization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
High resolution IV characterization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
Four terminal device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
General IV characterization, Migration from 4155 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
General IV/CV characterization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
High resolution IV characterization, Migration from 4156 . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
High resolution IV characterization (ASU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
High power IV characterization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
50 ms Pulse IV characterization (MCSMU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
50 ms Pulse IV characterization (Two MCSMU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
Flash memory cell characterization (2 pulse channels) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
Flash memory cell characterization (3 or 4 pulse channels) . . . . . . . . . . . . . . 4-24
Configuration example of WGFMU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
Ultra-fast 1 us NBTI characterization using the B1530A WGFMU module . 4-26
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