Document Number: D1000092204 B 3
Contents
Chapter 1 System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Principles of the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Applications for the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Features of the Instrument. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
How the Instrument Works. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Parts of the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Power Controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Sample Introduction Features and Status Indicators . . . . . . . . . . . . 8
I/O Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Gas Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Source Exhaust System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Vacuum Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Shutting Down and Turning on the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Instrument Safe Fluids . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Source/Gas Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Turbo V™ Ion Source Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Compound Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Related Documentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Technical Support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Chapter 2 3200 Series Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
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