Table of contents
ix
Magnetically Levitated Turbo Molecular Pump
INSTRUCTION MANUAL
TABLE OF CONTENTS
Introduction
Copyrights and Disclaimers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . i
Precautions for Safe Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ii
○ Explanation of label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . v
○ Location of label. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . v
○ Installation Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vi
○ Part Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vi
○ Air Cooled Turbo Molecular Pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
○ Warranty period . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
○ Conditional warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
○ Scope of the warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
○ Warranty of repaired or replacement parts . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
○ Exemption from the warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
○ Disposal of Products and Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . viii
○ LIMITATION OF LIABILITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . viii
TABLE OF CONTENTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ix
Section 1 OUTLINE AND DESCRIPTIONS
1.1 Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.2 Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1 Outside drawing of Pump Main Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1.1 Outside drawing of series of TMP-3203 . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1.2 Outside drawing of TMP-3403LMC . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.2 Standard Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Section 2 IDENTIFICATION AND FUNCTION
2.1 Pump Main Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
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