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Agilent Technologies 4UHV - Gebrauch

Agilent Technologies 4UHV
105 pages
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Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 25/104
Gebrauch
In diesem Kapitel sind die wichtigsten Betriebsvorgänge aufgeführt.
Für weitere Hinweise bezüglich Anschluß und Montage des
bestellbaren Zubehörs verweisen wir auf das Kapitel "Gebrauch" im
Anhang zu "Technical Information". Vor Benutzung des Controllers
müssen sämtliche elektrischen Anschlüsse ausgeführt und die
Betriebsanleitung der angeschlossenen Pumpe durchlesen werden.
WARNUNG!
Schalten Sie die Hochspannungsleitungen erst ein, wenn diese mit Hilfe der
dafür bestimmten Hochspannungskabel des Interlock-Kabels an die
Ionenpumpen angeschlossen sind.
Der Gebrauch des Controllers muss unter Verwendung eines
Hochspannungskabels mit Interlock erfolgen.
Abbildung 2 Erdung
4UHV KABEL PUMPE
LEITUNG
PUMPEN-ERDE
This Manual: http://www.manuallib.com/file/2630540

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