Edwards nEXT300 - Safety and Compliance

Contents
1. Saf
ety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1 Denion of Warnings and Cauons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.2 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.3 Trained personnel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. Introducon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2 Pump model descripon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3 Pump controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.4 Operaonal features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.4.1 Power limit seng. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.4.2 Standby speed. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.4.3 Timer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.4 Analogue output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.5 Automac vent opons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.6 Normal speed seng. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.5 Logic interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.5.1 Parallel control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.5.2 Serial control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.5.3 Serial control with parallel monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.5.4 Parallel control with serial monitoring or serial conguraon. . . . . 17
2.5.5 Controller conguraon (serial conguraon). . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.1 General technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.2 Operaon and storage environment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.3 Vent gas specicaon and vent control data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.4 Purge gas specicaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.5 Cooling water. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.6 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.7 Pumping media. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.8 Materials exposed to gases pumped. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
3.9 Logic interface connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
3.10 Controller connector socket. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
3.11 Indicator LED's. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4. Installaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
4.1 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
4.2 Typical installaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.3 Connect to the vacuum system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.3.1 Inlet screen (installed on CF only). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
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