Ulvac C30PZ - Table of Contents

Compressor Unit Instruction Manual
TABLE OF CONTENTS
Safety Instructions･････････････････････････････････････････････ S-1
Disposal Consideration･････････････････････････････････････････ IW-1
SECTION 1Compressor unit Description
1.1 Introduction･･････････････････････････････････････････ 1-1
1.2 Specifications･････････････････････････････････････････ 1-2
SECTION 2 Inspection
2.1 Shipping List･･････････････････････････････････････････ 2-1
2.2 Compressor Unit･･････････････････････････････････････ 2-2
2.3 Connecting Pipings (Flexible Hoses)･････････････････････ 2-2
2.4 Cables････････････････････････････････････････････････ 2-2
SECTION 3 Installation
3.1 Installation･･･････････････････････････････････････････ 3-1
3.2 Connecting Cooling Water Piping･･･････････････････････ 3-1
3.3 Cooling Water･････････････････････････････････････････ 3-2
3.4 Connecting the Super Trap(Refrigerator unit) to the
Compressor Unit･･･････････････････････････････････････3-5
3.5 Connecting Electrical Cables･･･････････････････････････ 3-7
SECTION 4 Operation
4.1 Power-on Procedure･･･････････････････････････････････ 4-1
4.2 Parameter Settings････････････････････････････････････ 4-2
4.3 Pre-operation Check･･･････････････････････････････････ 4-5
4.4 Normal Operation･････････････････････････････････････ 4-6
4.5 DIP Switch Settings･･･････････････････････････････････ 4-6
SECTION 5
Disconnection and Storage
5.1 Disconnecting Flexible Hoses･･･････････････････････････ 5-1
5.2 Storage･･･････････････････････････････････････････････ 5-2
SECTION 6 Maintenance
6.1 Scheduled and Unscheduled Maintenance･･･････････････ 6-1
6.2 Replacement of Adsorber･･･････････････････････････････ 6-1
6.3 Charging Helium Gas･･････････････････････････････････6-3
APPENDIX
Ａ Troubleshooting･･･････････････････････････････････････ A-1
Ｂ Control･･･････････････････････････････････････････････ B-1
 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED I