Felhasználói Kézikönyv 11
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 135/228
Használat
A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást
megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést
használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet!
A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet
melegíteni. A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti
nyjlásnál mért hőmérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C
ConFlat típusú illesztőperem esetén, illetve a 80 °C hőmérsékletet
ISO illesztőperem esetén.
Mindig alkalmazzon vízhűtést a melegítés során!
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
FIGYELEM!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív
gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges
porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N
2
, Ar) stabil áramlását védelmet
viselő szivattyú számára (lásd “Technical Information” függelék).
VESZÉLY!
Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!
To Next Page
Loading...
