Gamma Vacuum SPCe - Table of Contents

Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1. Denition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2. Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3. Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4. Safety notices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. General information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1. Approvals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3. Unpacking the controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1. Inspect for any obvious damage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2. Check the equipment received. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.1. Required items. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2. Installation procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5. Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.1. Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2. High voltage operation (quick start). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6. Display menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.1. Display during ion pump operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.2. System information menu (Sys). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6.3. High voltage output menu (output). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.4. Supply menu (supply). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.5. Communications mode (Comm). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.6. Serial parameters menu (Serial). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.7. Ethernet parameters menu (Ethnt). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.8. Conguration menu (Cong). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.9. Diagnostics menu (Diag). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6.10. SPC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
7. Display messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
8. Back panel operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
8.1. Remote hardware option (J1). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
8.2. Power supplies. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
9. Serial (J3) and ethernet (J2) operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
9.1. Ethernet connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
9.2. Serial connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
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