• 난류 흐름 — 각 클린 룸에 샘플 프로브를 2 개 이상 설치합니다.
• 샘플(등속) 프로브가 흐름 방향을 가리키는지 확인합니다. 그림 2
페이지의 117 을 참조하십시오.
• 유리물, 먼지, 액체 및 분무로부터 30 cm(12 in.) 이상 떨어진 곳에 샘플
프로브를 보관합니다.
• 기기 배기 팬 같은 오염원으로부터 30 cm(12 in.) 이상 떨어진 곳에 샘
플 프로브를 보관합니다.
• 표 4 에 표시된 물질을 포함하는 공기를 모니터링하기 위해 이 기기를
사용하지 마십시오.
표
4 오염 물질
물질 손상
분말 센서를 오염시켜 결과가 잘못되거나 기기가 고장날 수 있습니다.
액체 센서의 내부 광학 장치를 오염시키고 기기의 교정을 변경합니다.
참고
:
액체는
기름
방울
형태로
공기
중에
있을
수
있습니다
.
연기 센서를 오염시킵니다.
튜브 설치
튜브 고리 또는 케이블 타이를 사용하여 튜브를 고정시키고 튜브가 구부
러지지 않게 합니다. 튜브가 구부러지면 공기 흐름이 줄어들고다음과 같
은 문제가 발생합니다.
• 공기 유입 흐름이 감소하면 튜브의 내부 벽에 입자가 모일 수 있습니다.
이 경우 입자가 카운팅되지 않습니다. 수집된 입자는 임의로 방출될 수
있어 카운트 레벨이 급증하게 됩니다.
준비 항목:
• 공기 유입 튜브
— Hytrel
®
Bevaline, Tygon
®
또는 동등한 제품
• 진공 튜브 — Hytrel Bevaline, Tygon 또는 동등한 제품
• 튜브 고리 또는 케이블 타이
1. 샘플 프로브에 기기를 연결하는 데 충분한 길이로 공기 유입 튜브를
자릅니다. 튜브 길이를 최소로 유지합니다. 길이가 3 m(10 ft)를 넘지
않도록 하십시오.
2. 카운터를 진공 소스에 연결하기 위해 진공 튜브를 자릅니다. 튜브 길
이를 최소로 유지합니다.
3. 튜브 끝단에 덮개를 놓아 설치 중에 원치 않는 물질이 튜브 안으로 들
어가지 않게 합니다.
4. 고리 또는 케이블 타이를 사용하여 1.2 m(4 ft) 이내의 간격으로 튜브
를 부착합니다. 공기 흐름이 감소하지 않도록 튜브의 굽힘 반경은 최
소 10 cm(4 in.) 이어야 합니다.
5. 공기 유입 튜브를 기기의 공기 유입 피팅에 연결합니다. 튜브의 다른
쪽 끝단을 제공된 샘플 프로브에 연결합니다.
6. 진공 튜브를 카운터의 아래쪽 또는 측면에 있는 피팅에 연결합니다.
샘플을 채취할 수 있도록 실내가 준비될 때까지 다른 쪽 끝단을 진공
에 연결하지 마십시오.
전기 설치
배선 안전 정보
경 고
전기쇼크 위험 해당 위치에서 전원을 쉽게 차단할 수 있어야 합니다.
주 의 사 항
전기 연결 시에는 항상 사전에 기기에서 전원을 분리하십시오.
기기 연결 작업 시에는 모든 안전 규정을 준수하십시오.
전원에 연결
외부 전원(24 VDC)을 제공된
5 핀 또는 10 핀 커넥터에 연결합니다. 배선
정보는 그림 7 및 표 5 또는 그림 8 및 표 6 을 참조하십시오. 외부 전원의
출력 전압이 28 VDC 를 넘지 않아야 합니다.
외부 전원 1 개에 연결 가능한 기기의 최대 개수는 통신 옵션에 따라 달라
집니다. 자세한 내용은 기술 지원부에 문의하십시오.
5 핀 커넥터 배선은 그림 9 에 설명된 단계를, 10 핀 커넥터 배선은
그림 10 에 설명된 단계를 각각 참조하십시오.
한글
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