目次
仕様 ページの 91 スタートアップ ページの 104
総合情報 ページの 92 操作 ページの 105
設置 ページの 96 メンテナンス ページの 112
仕様
この仕様は予告なく変更されることがあります。
仕様 詳細
寸法
(W × D ×
H)
13.56 x 8.93 x 12.06 cm
筐体 304 ステンレス鋼
光源 Long Life Laser
™
ダイオード、クラス
3B レーザー
重量
0.82 kg
汚染度
2
取り付けカテ
ゴリ
I
保護クラス
III
電源 9 ～ 28 VDC (電源: クラス 2 有限電源、< 150 VA)
消費電力 (最
大)
シリアルユニット/パルスユニット: 3.3 W、イーサネットユニッ
ト: 4.3 W、アナログ: 3.5 W、最大 1 A
動作周囲温度 5 ～ 40 °C、最高性能: 10 ～ 32 °C
保管温度 –40 ～ 70 °C
湿度 作動時および保管時: 相対湿度 5 ～ 95%、結露なきこと
高度 最大 2000 m
仕様 詳細
ポートサイズ モデル
6003、6005: 吸気チューブ - 内径 0.32 cm 用バーブ継手、
排気チューブ - 内径 0.64 cm 用バーブ継手
モデル 6013、6015: 吸気チューブ - 内径 0.64 cm 用バーブ継手、
排気チューブ - 内径 0.64 cm 用バーブ継手
出力信号オプ
ション
パルス、アナログ
4–20 mA、シリアル RS232 (Modbus RTU ま
たは FXB 通信プロトコル) (ネットワークなし)、シリアル
RS485 (Modbus RTU または FXB 通信プロトコル)、イーサネッ
ト (ModbusTCP プロトコル)
データメモリ
ー
1000 サンプル/レコード (バッファーがいっぱいになった場合
は、古いレコードから順に上書き)
サンプル流量 モデル
6003、6005: 0.1 cfm (2.83 Lpm) ± 5%
モデル 6013、6015: 1.0 cfm (28.3 Lpm) ± 5%
インレット圧
力
周囲圧力 ～ 2.5 mmHg 負圧
真空要件 ≥ 406 mmHg (最小負圧)、
すべての装置で気流が発生している状
態で各装置で測定。
範囲 モデル 6003: 0.3 μm ～ 10.0 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))
モデル 6005: 0.5 μm～ 10.0 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))
モデル 6013、6015: 0.5 μm～ 10.0 μm (1.0 cfm (28.3 リット
ル/分))
最小可測粒径 モデル
6003: 0.3 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))
モデル 6005: 0.5 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))
モデル 6013: 0.3 μm (1.0 cfm (28.3 リットル/分))
モデル 6015: 0.5 μm (1.0 cfm (28.3 リットル/分))
カウント効率 モデル
6003: 0.3 μm で 50% (± 20%)、(最小感度の 1.5 倍で
100% ± 10%)
1
。
モデル 6005、6013、6015: 0.5 μm で 50% (± 20%)、(最小感度の
1.5 倍で 100% ± 10%)
1
。
日本語
91
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