図 6 サンプルプローブの設置方法
1 直接取り付け 3 垂直壁取り付け
2 壁取り付け、90 ° 4 T タイプウォールブラケット
サンプルプローブのガイドライン
告 知
この装置は、乾燥粘着剤や他の化学薬品から発した気体が含まれた空気を監視す
るのに使用しないでください。これらの気体によりセンサの光学系や他の内部部
品が覆われて、除去できなくなってしまう可能性があります。
告 知
この装置は、腐食性のある気体が含まれた空気を監視するのに使用しないでくだ
さい。これらの気体により、光学系やカウンターの電子部品はすぐに永久的な損
傷を受けてしまいます。
• 層流 - 2.3 m
2
の表面積ごとにサンプルプローブを少なくとも 1 つ設
置します。
• 乱流 - 各クリーンルームに、サンプルプローブを少なくとも 2 つ設置
します。
• サンプル (等速吸引) プローブは、
気流と同じ向きになるように設置し
てください。図 2 ページの 95 を参照してください。
• サンプルプローブは、遊離物質、埃、液体および飛沫から 30 cm 以上
離してください。
• サンプルプローブは、装置の排気ファンなど、汚染源となり得る装置
から 30 cm 以上離してください。
• この装置は、表 4 に示している物質が含まれた空気を監視するのに使
用しないでください。
表
4 汚染物質
物質 損傷
粉末 センサが汚染され、結果が不正確になったり、装置が故障する
液体 センサの内部光学系が汚染され、装置の校正が変化する
注
:
液体は、油滴の状態で空気中に存在することもあります。
煙霧 センサが汚染される
チューブの取り付け
チューブフックまたはケーブルタイを使用してチューブをおさえて、チ
ューブが折れ曲がらないようにします。チューブが折れ曲がると、空気
流量が減少し、次のような問題が発生します:
• 吸気流量が減少すると、チューブの内壁に粒子が堆積するようになり、
粒子がカウントされなくなります。堆積された粒子はランダムに遊離
し、カウントレベルのスパイクが生じる原因になります。
用意するもの:
• 吸気チューブ - Hytrel
®
Bevaline、Tygon
®
または同等品
• 真空チューブ - Hytrel Bevaline、Tygon または同等品
• チューブフックまたはケーブルタイ
日本語
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