c. クリーンルームの空気を 5 分間監視し、結果を記録します。5 分
間のサンプリングで粒子カウントが 0 ～ 1 になるまでこの手順
を最大 4 回繰り返します。
d. 粒子カウントが 0 ～ 1 であることが表示された場合、
吸気チュー
ブから粒子を取り込んでいます。吸気チューブを交換します。
e. 粒子カウントが 0～1 にならなかった場合は、技術サポートにお
問い合わせください。
操作
設定
初期設定時には、装置を PC に接続します。
初期設定完了後には、PC に直接接続するか、ModbusTCP 接続経由で設
定を変更することができます。ネットワーク経由での設定では、LAN 設
定のみを変更できます。ネットワーク経由での LAN 設定の指定
ページの 108 を参照してください。
PC への接続
用意するもの:
• セットアップユーティリティ CD
• サービスポートケーブル
• Windows
®
2000 Professional、Windows XP Professional、Windows
Vista (32 ビット)、Windows 7 (32 ビットまたは 64 ビット、XP エミ
ュレーションモード) がインストールされている PC
• PC に RS232 ポートがない場合は、USB/RS232 変換アダプタ
1. PC に Microsoft .Net Framework がインストールされていることを確
認します。インストールされていない場合は、セットアップユーティ
リティ CD の dotnetfx.exe ファイルを実行してアプリケーションを
インストールします。
注
:
ユーザーは
PC
に
Administrator
としてログオンする必要があります。
2. セットアップユーティリティ CD の SetupUtility.exe を PC にコピー
します。
3. サービスポートケーブルを装置のサービスポートと PC の COM ポ
ートに接続します。
装置を設定する
セットアップユーティリティソフトウェアを使用して、各装置に保存す
る設定を行います。装置に電源が供給されると、新しい設定が検索され
ます。新しい設定が見つからなかった場合は、以前に保存した設定が使
用されます。
1. PC にインストールされている SetupUtility.exe ファイルを開いて、
セ
ットアップユーティリティプログラムを起動します。
2. [Basic Setup (基本セットアップ)] タブを選択します。
3. ウィンドウの右側で [Port (ポート)] フィールドを探します。装置が
接続されている PC の COM ポートを選択します。
4. [Read Instrument (装置の読み取り)] をクリックします。ユーティ
リティにより、装置に保存されているデータが読み取られます。
5. [Instrument Information (装置情報)] セクションに表示されているデ
ータ (モデル番号、通信オプション、ファームウェアバージョン、通
信アドレス (該当する場合)) が正しいことを確認します。
6. [General (全般)] セクションで、設定を選択します。
オプション 説明
カウントモード カウントモードを設定します。アナログユニット
のアナログ出力には影響しません。
差分
- 各チャネルの表示されている粒子カウント
は、各チャネルサイズのカウントです。
積算 (デフォルト) - 各チャネルの表示されている
粒子カウントは、各チャネルサイズとそれよりも
大きいチャネルサイズのカウントです。たとえ
ば、チャネルが 0.3 µm の場合、0.3 µm 以上のサ
イズの粒子がカウントに含まれます。
Sample Timing:
Sample (サンプルタイ
ミング: サンプル)
各サンプルの時間を設定します (デフォルト =
00:01:00 = 1 分)。
Sample Timing: Hold
(サンプルタイミング: 待
機)
サンプル採取後にデータ収集が停止するまでの時
間を設定します (デフォルト = 00:00:00)。
カウント周期 データ収集が停止して待機時間が開始する前に取
得されるサンプル数を設定します。
日本語
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