Veeco Digital Instruments Dimension 3100 - Page 5

TOC-4 Dimension 3100 Manual Rev. C
5.2.2 Magnetic Pucks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.2.3 Axis Orientation—Motorized X-Y Stages 5-3
5.3 Stage Menu Commands . . . . . . . . . . . . . .5-4
5.3.1 Load New Sample . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.3.2 Locate Tip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.3.3 Align Laser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.3.4 Focus Surface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.3.5 Move To (X,Y) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.3.6 Set Reference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.3.7 Programmed Move . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.3.8 Initialize . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-20
5.3.9 SPM Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-22
Chapter 6 Cantilever Preparation 6-1
6.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-1
6.2 Silicon Cantilever Substrates . . . . . . . . . .6-2
6.2.1 Wafer Tool Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.2.2 Cantilever Preparation . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.2.3 Tip Shape of Etched Silicon Probes. . . . . 6-4
6.3 Silicon Nitride Cantilever Substrates . . . .6-8
6.3.1 Tip Shape of Silicon Nitride Probes. . . . 6-11
Chapter 7 Head, Probe, & Sample
Preparation 7-1
7.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
7.2 System Information . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
7.2.1 Mouse versus Trackball . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.2 Motor Interlock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.2.3 Laser Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.3 Basic AFM Operation. . . . . . . . . . . . . . . .7-4
7.3.1 Select the Microscope Head . . . . . . . . . . 7-4
7.3.2 Select Mode of Operation . . . . . . . . . . . . 7-4
7.3.3 Prepare the Cantilever Holder . . . . . . . . 7-4
7.3.4 Load the Cantilever Holder. . . . . . . . . . . 7-5
7.3.5 Remove the Dimension SPM Head . . . . . 7-7
7.3.6 Install the Cantilever Holder. . . . . . . . . . 7-8
7.3.7 Replace the Dimension SPM Head . . . . . 7-9
7.3.8 Connect the Dimension Head . . . . . . . . . 7-9