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d. 阀开关处于“阀控”位,并且设定不为零时，如果先开电源，后开气，则流量将会有一个大
过冲，然后迅速稳定至设定值。这种操作方法应当避免。
e. 先开电源、将阀开关置到“关闭”位，将设定值调到零，再开气，待预热至零点稳定后，
再转“阀控”位，然后将设定流量调至需要值, 则实际流量跟踪设定值而改变，无过冲。这
是最佳操作方法。
图 12. 流量显示仪操作面板
6.1.2 清洗功能
欲用气体吹洗管路，可将阀开关置为“清洗”位, 清洗时的流量可达该控制器额定满量
程流量的几倍至几十倍。如果不通气，则根据需要可以抽真空以排除 MFC 内部及其上游残
存气体。然后将阀关闭，再开气，并转到“阀控”位工作。
6.1.3 显示仪与计算机连接的操作
参照图 1 和图 9，先将显示仪上的设定开关打到“外设”位，将阀控开关置于“阀
控”位，再启动计算机程序进行工作。
6.1.4 直接与计算机连接的操作。
参照图 1 和图 10，在流量计预热稳定以后，即可启动程序进行工作。
流量显示窗
阀控开关
外调零电位器
流量单位指示
设定电位器
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