目 录
1. 使用须知…………………………….. 1 6.2.1 开机预热 …………………..…… 15
2. 用途和特点………………………… 1 6.2.2 检查和调整零点 ………………… 15
3. 主要技术指标……………………… 3 6.2.3 通气工作 ………………………… 15
4. 结构和工作原理…………………… 4 6.2.4 关机 ……………………………… 15
4.1 结构………………………………… 4 7. 注意事项 …………………………… 15
4.2 工作原理…………………………… 5 7.1 禁用流量介质 ……………………… 15
5. 安装和接线 ……………………… 7 7.2 使用腐蚀性气体问题 ……………… 15
5.1 外形及安装尺寸…………………… 7 7.3 阀口密封问题 ……………………… 16
5.2 气路接头形式……………………… 8 7.4 阀控操作注意 ……………………… 16
5.3 连接电缆插头……………………… 9 7.5 安装位置问题 ……………………… 16
5.4 与计算机或外部信号的连接……… 11 7.6 注意工作压差 ……………………… 16
5.5 调零和外调零……………………… 12 7.7 标定和不同气体的换算 …………… 17
6. 使用方法和操作步骤 ……………… 13 7.8 D07-7K,7KM 标准订单填写格式…… 18
6.1 质量流量控制器的操作…………… 13 8. 故障判断和处理 …………………… 21
6.1.1 开机操作………………………… 13 9. 保证、保修与服务…………………… 23
6.1.2 清洗功能………………………… 14 9.1 产品保证和保修..…………………… 23
6.1.3 显示仪与计算机连接的操作…… 14 9.2 保修对使用的要求..………………… 23
6.1.4 直接与计算机连接的操作……… 14 9.3 服务..………………………………… 23
6.1.5 阀控功能………………………… 15 10. 附录 ………………………………… 24
6.1.6 关机操作………………………… 15 10.1 气体质量流量转换系数 …………… 24
6.2 质量流量计的操作 ………………. 15 10.2 转换系数使用说明 ………………… 26
MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
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