SevenStar D07 Series - 主要技术指标

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3. 主要技术指标
表 1. D07-7K 型 MFC 性能指标
编号 项 目 D07-7K 型
1 流量规格 (20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 重复精度 ±0.2 %F.S
5 响应时间 电特性: ≤4sec; 气特性: ≤4sec
6 工作压差范围 (0.1 ~ 0.5) MPa
8 温度系数
Zero:
≤±0.1% F.S./; Span: ≤±0.2% F.S./;
9 耐压 3 MPa
10 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
11 输入输出信号
0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
12 电源 +15 V 50 mA; -15V 200 mA
13 外形尺寸 见图 4
14 重量 1.1 kg
注意 :
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N
2
）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位 SLM 和
“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S (Full Scale): 满量程值