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7.7 标定和不同气体的换算
本流量计出厂通常用氮气(N
2
)标定。如果要求用使用气体标定, 需要在订货时与销售
人员特别申明。
用氮气标定的流量计用户使用其它气体时, 可以通过附录 10.1 的转换系数进行换算,
算出被使用气体的流量。将质量流量控制器显示出的流量读数,与某使用气体的转换系数
相乘,即得该被测气体在标准状态下的质量流量。
例如:一个出厂标定为 100 SCCM(N
2
) 的 MFC,通甲烷气体时显示的流量为 86 SCCM,
从附录 10.1 查得甲烷的转换系数为 0.719,则甲烷的实际流量为 86×0.719 即 61.8 SCCM。
如果用户使用混合气体,可以通过附录 10.2 介绍的方法, 计算出混合气体的转换系数。