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6.1.5 阀控功能
当阀开关置于阀“控位”时, 用户也可通过外控信号插座上的“阀控”线控制阀门, (参
照图 3 和图 9)，当阀控线接+15V 时，阀门关闭；当阀控线接-15V 时，阀门开到最大，处
于清洗状态；当阀控线悬空时，阀门处于自动控制状态。
6.1.6 关机操作
切断电源后，流量自动截止。最好先关气（将阀控开关置于“关闭”位和关闭气路中
的截止阀）, 后断电源。
6.2 质量流量计的操作
6.2.1 开机预热: 使用前，先接通电源预热 15 分钟。
6.2.2 检查和调整零点
预热后, 检查流量计的零点（特别是在首次使用时）, 参见 5.5 条, 在不通气的情况下,
可以通过调零电位器调零。
6.2.3 通气工作: 待零点稳定后, 即可通气工作。注意观察气体流量, 最好不要超过满量程使用。
6.2.4 关机: 切断电源, 即停止流量计的测量工作, 不影响通道流过的气体流量。
7. 注意事项
7.1 禁用流量介质
使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果
流量计出口接有液体源瓶, 应在流量计出口加装单向阀, 防止液体回流损坏流量计。
7.2 使用腐蚀性气体问题
流量计通道采用的材料为: 00Cr
17
Ni
14
Mo
2
(相当于 316L 不锈钢) ,氟橡胶等耐蚀材料。
在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下, 可以用于控制一般的腐蚀性气体。
使用氨气的用户应在定货时声明。7K、7KM 型流量计产品不能用于有机溶剂蒸汽（如丙酮
等）和 BCl
3
、BBr
3
等强腐蚀性气体。阀口的密封材料通常为氟橡胶或耐氨橡胶，对于 7K
型质量流量控制器也可以选用聚四氟乙烯；当选用四氟乙烯时，阀口容易出现漏气，阀口
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