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图 2. 7K 型质量流量控制器结构图
7KM 型流量计与 7K 型控制器相比，在结构上的不同点，就是少了电磁调节阀，其它
部分基本相同。
4.2 工作原理
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进
行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量
相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的 D08 系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3 位
半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。本控制器与流量显示仪连
接后的工作原理如图 3 所示。
电路板
D 型插座
传感器
调零电位器
支架
进气接头
出气接头
电磁调节阀
锁紧螺母
流量通道
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