SevenStar D07 Series - 结构和工作原理

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表 2. D07-7KM 型 MFM 性能指标
编号 项 目 D07-7KM 型
1 流量规格 (20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1% F.S
3 线性 ±1% F.S
4 重复精度 ±0.2 %F.S
5 响应时间 ≤4 sec
6 气压降 <0.01 MPa
7 温度系数
Zero:
≤±0.1% F.S./; Span: ≤±0.2% F.S./;
8 耐压 3 MPa
9 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
10 输出信号
0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
11 电源
+15 V 50 mA
-15 V 50 mA
12 外形尺寸 见图 5
13 重量 0.92 kg
各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。其中 7KM 型是 7K 型的流量测量部分，流
量计量部分的技术指标相同。
4. 结构和工作原理
4.1 结构
质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的
基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。7K 型质量流量控制
器, 打开外罩后的结构如图 2 所示。