SevenStar D07 Series - Page 58

Page 26 of 27
Continue To Table 4. Conversion Factors
GAS
GAS CODE
(SEMIE52-0302)
HEAT
( Cal/g )
ρ
(g/l 0 )
Factors
GeH
4
043 0.1405 3.4180 0.569
H
2
007 3.4224 0.0899 1.010
HBr 010 0.0861 3.6100 1.000
HCl 011 0.1911 1.6270 1.000
HF 012 0.3482 0.8930 1.000
HI 017 0.0545 5.707 0.999
H
2
S 022 0.2278 1.5200 0.844
He 001 1.2418 0.1786 1.415
Kr 005 0.0593 3.7390 1.415
N
2
013 0.2486 1.2500 1.000
Ne 002 0.2464 0.9000 1.415
NH
3
029 0.5005 0.7600 0.719
NO 016 0.2378 1.3390 0.976
NO
2
026 0.1923 2.0520 0.741
N
2
O 027 0.2098 1.9640 0.709
O
2
015 0.2196 1.4270 0.992
PCl
3
193 0.1247 6.1270 0.358
PH
3
031 0.2610 1.5170 0.691
PF
5
143 0.1611 5.6200 0.302
POCl
3
102 0.1324 6.8450 0.302
SiCl
4
108 0.1270 7.5847 0.284
SiF
4
088 0.1692 4.6430 0.348
SiH
4
039 0.3189 1.4330 0.599
SiH
2
Cl
2
067 0.1472 4.5060 0.412
SiHCl
3
147 0.1332 6.0430 0.340
SF
6
110 0.1588 6.5160 0.264
SO
2
032 0.14890 2.8580 0.687
TiCl
4
114 0.1572 8.4650 0.206
WF
6
121 0.0956 13.2900 0.215
Xe 006 0.0379 5.8580 1.415