Table of contents
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263-13236
Section 3 CONSTRUCTION AND PRINCIPLE
3.1 Pump Construction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.2 Principle of Turbo Molecular Pumping . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Section 4 SPECIFICATIONS
4.1 Pump Main Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.1.1 Specification of series of TMP-3203 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.1.2 Specification of TMP-3403LMC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.2 Standards Fulfilled . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Section 5 INSTALLATION
5.1 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.1.1 Pump Mounting Direction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.1.2 Installation of the Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.1.2.1 Installation of series of TMP-3203 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.1.2.2 Installation of TMP-3403LMC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.1.3 Example of piping connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.1.4 Center of gravity of the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.2 Connection of the Pump to the Power Supply Unit . . . . . . . . 26
5.3 Interlock for Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Section 6 OPERATION
6.1 Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.1.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.2 Start-up Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.2.1 Start-up Preparation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.3 Start-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.3.1 Start-up Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.4 Shutting Down . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
6.5 Baking Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
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